Журнал теоретических и вычислительных наук
Открытый доступ

Абстрактный

Электрические свойства пористого кремния для датчика газа N2

Махмуд Бахар, Хамиде Эскандари и Наги Шабан

Применение пористого кремния (PSi) для газочувствительных устройств привлекло значительное внимание в последнее десятилетие. В этой работе рассматриваются электрические характеристики слоев PSi, полученных электрохимическим травлением. Мы обнаружили, что для лучшего понимания абсорбционных свойств поверхности PSi необходимо знать, как морфология PSi зависит от параметров травления. Физическую структуру PSi, т. е. пористость и распределение размеров пор, можно контролировать, изменяя концентрацию плавиковой кислоты, плотность тока, длину анодирования и время травления в процедуре анодирования. Мы описываем нашу испытательную систему для газовых датчиков и исследуем электрическое поведение слоев PSi (p-типа) в газе N2 для различных условий изготовления. Результаты показывают, что плотность тока значительно увеличивается по мере адсорбции газа N2. Измерения характеристик IV проводились при атмосферном давлении, комнатной температуре, а также с газом N2.